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发布时间：2022-04-29 02:39:22
电镀系统：分类：平面两极式：靶材为负极，基材为正极。三极式：由阳极，阴极，外加电子源等三种电极所组成的系统。外加电子源产生电场加速正极离子化的气体分子。三极式系统不能使用于反应性电镀，因为电子会影响反应气体与污染灯丝。磁控电镀：利用磁场作用提高电镀速率。反应电镀：将反应性气体导入真空腔中，并与金属原子产生化合物以镀着。
半透明真空电镀质量会被哪些因素影响：随着现在半透明真空电镀越来越各行业的关注，大家有去了解过，哪些因素会影响到水电镀工艺的质量吗？射频电镀的优点：电子轰击离子化的效率好，且操作压力比较低(<1mtorr)。减少电弧(电弧的产生是由于粉尘或加热蒸发的气体)。反应电镀(Reactive spuutering)：将反应性气体加入气中，如Ar+H2S，而与电镀原子，如镉形成硫。(例如，在气加氮气的环境下电镀钛，会形成氮化钛)。其可为直流电或射频反应电镀。
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